Luftströmungen im Reinraum kontrollieren und steuern

Sensor SS 20.415

02.02.2011 Im Reinraum muss die Konzentration luftgetragener Teilchen so gering wie nötig sein, damit die dort ge-fertigten Halbleiter nicht beschädigt oder die pharma-zeutischen Produkte verunreinigt werden. Dies erfolgt durch eine hohe Luftwechsel-Rate.

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In seiner Funktion zur Filterüberwachung überprüft der Sensor SS 20.415 von Schmidt Technology, ob bei der fest eingestellten Lüfterdrehzahl die Strömungsgeschwindigkeit stimmt oder sich aufgrund der zunehmenden Verschmutzung des Filters bereits verlangsamt hat. In der zweiten Anwendungsvariante wird die vom Sensor gemessene Strömung direkt zur Drehzahlregelung der FFUs genutzt. Die GMP schreiben einen eng spezifizierten, zulässigen Arbeitsbereich für die Strömungsgeschwindigkeit vor; 0,45 m/s mit einer zulässigen Abweichung von ±20 %, entsprechend 0,09 m/s. Die eingesetzten Strömungssensoren des Typs SS 20.415 haben eine Messungenauigkeit von 0,05 m/s. SCHMIDT Technology garantiert diese nicht nur durch eine Werksbescheinung, sondern erstellt auf Kundenwunsch auch ein Kalibrierzertifikat im werkseigenen Präzisionswindkanal.

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