Zur Sicherstellung der automatisierten Reinigungsprozesse muss das Reinstwasser an zwei Laminarflowbänken gleichzeitig mit jeweils 5?l/min zur Verfügung stehen, so dass in diesem Projekt die kleinen kompakten Labor- Reinstwassersysteme ausschieden. Die Intermediate Solution beinhaltet die Trinkwasserbehandlung, Reverse Osmose, Elektroentionisierung, Membranentgasung, Lagertank aus hochreinen, inerten Werkstoffen, eine UV-Oxidation mit >?28000 J/m2 (185 nm) und Ultrapure Polisher bis hin zum Rohrleitungssystem zur Versorgung der einzelnen Reinraum-Arbeitsplätze.
