In der Regel werden Prozesse, die unter Reinraumbedingung durchgeführt
werden müssen, durch eine Vielzahl von Parametern bestimmt, die sich teilweise gegenseitig beeinflussen. Insbesondere der Lüftungstechnik kommt hier sehr große Bedeutung bei.
Reinraumtechnik
Varianten der Lüftungstechnik in Reinräumen
In der Regel werden Prozesse, die unter Reinraumbedingung durchgeführt werden müssen, durch eine Vielzahl von Parametern bestimmt, die sich teilweise gegenseitig beeinflussen. Insbesondere der Lüftungstechnik kommt hier sehr große Bedeutung bei.